Hlɔnhlɔn Etcher Plasma Tɔn Ðò Nǔglɔ

Plasma Etcher Hlɔnhlɔn Nukɔntɔn lɛ
Hlɔnhlɔn e ɖò nǔ e è nɔ ylɔ ɖɔ plasma é mɛ é cí nǔ e nɔ zɔ́n bɔ mɔ̌to ɖé nɔ yawu yì é ɖɔhun, bo nɔ xlɛ́ lee nǔ ɔ na yawu yì gbɔn é kpo lee é na gɔ́ngɔ́n sɔ́ é kpo tlɔlɔ. Bǎ e mɛ hlɔnhlɔn ɔ sukpɔ́ ɖó é ɔ, bǎ enɛ mɛ wɛ plasma ɔ sín hlɔnhlɔn nɔ sukpɔ́ ɖè, bɔ è nɔ lɛ́ yawu xò nǔ dó nǔ jí. Amɔ̌, hlɔnhlɔn e yì aga é nɔ nyɔ́ hú hwebǐnu ǎ; é ɖó na jlaɖó sɔgbe xá nǔ e è byɔ lɛ é kpo lee è na wà nǔ gbɔn é kpo.

Hlɔnhlɔn kpɛví (100-300W): É sɔgbe nú ɖiɖe ɖagbeɖagbe lɛ bo nɔ lɛ́ ɖè nǔ e è nɔ hɛn gblé lɛ é kpò.

Hlɔnhlɔn tɛntin tɔn (300-600W): É nɔ jlɛ́ hlɔnhlɔn e è nɔ sɔ́ dó jǐ é kpo nǔ e è nɔ sɔ́ é kpo.

Hlɔnhlɔn ɖaxó (600W jɛji): È nɔ zán dó ɖè nǔ gègě sín mɛ bléblé.

Nǔ E Hlɔnhlɔn Nɔ Wà Dó Nǔ E È Nɔ Jɛ Ðò Etching Mɛ É Jí É

Huzuhuzu kpɛví kpɛví e ɖò hlɔnhlɔn mɛ lɛ é sixu zɔ́n bɔ è na ɖó vogbingbɔn ɖaxó lɛ ɖò nǔ e è nɔ mɔ ɖò ɖiɖe lɛ mɛ é mɛ:

Etching rate: 100W ɖokpo ɖokpo e è nɔ bló bɔ hlɔnhlɔn nɔ jɛji é nɔ zɔ́n bɔ hlɔnhlɔn ɔ nɔ jɛji ɖibla yì 15-20%.

Nǔ e è nɔ sɔ́ é: Hlɔnhlɔn e zɛkpá é sixu ɖè alɔcyɔnmɛji e è nɔ sɔ́ dó cyɔn alɔ mɛ jí é kpò.

Nǔ ɖokpo ɔ: Hlɔnhlɔn e nɔ ɖyɔ é sixu zɔ́n bɔ è na gɔn nǔ wlan dó gɔngɔn mɛ.

Nǔ e nɔ tɔ́n sín mɛ lɛ é: Hlɔnhlɔn nɔ wà nǔ dó nǔ e nɔ tɔ́n sín plasma mɛ lɛ é wu, bo nɔ ɖyɔ nǔ e nɔ tɔ́n sín mɛ lɛ é sín alɔkpa lɛ.

Nǔ taji e nɔ zɔ́n bɔ è nɔ bló bɔ hlɔnhlɔn nɔ w’azɔ̌ ganji lɛ é

Bo na dó sixu mɔ nǔ ɖagbe hugǎn lɛ ɔ, è ɖó na gbéjé nǔ elɔ lɛ kpɔ́n:

Gaz alɔkpa: Gaz vovo lɛ nɔ byɔ hlɔnhlɔn ɖé.

Chambre pressure: Pression ɖyɔɖyɔ nɔ byɔ ɖɔ è ni jla hlɔnhlɔn e sɔgbe é ɖó.

Nǔ e ɖò dò é sín zozo: È sixu ɖè hlɔnhlɔn kpò hwenu e zozo ɔ ɖò jijɛji wɛ é.

Élɛktrɔdu lɛ sín tɛnmɛ: Lee tɛnmɛ e ɖò élɛktrɔdu lɛ tɛntin é hwe sɔ́ é ɔ, mɔ̌ wɛ hlɔnhlɔn e è nɔ zán é nɔ hwe gbɔn é nɛ.